[发明专利]可切换工位的六自由度精密定位台有效
| 申请号： | 200810038759.3 | 申请日： | 2008-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101303532A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 李生强;李志龙;张锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可切换工位的六自由度精密定位台，所述精密定位台包括吸版台、气浮板、水平向微调机构、底座和垂向调节机构，所述吸版台通过一工位切换机构安装在气浮板的上方，用于承载掩模版，所述水平向微调机构和气浮板连接，用于驱动气浮板在水平方向上移动，所述气浮板下方连接底座，所述垂向调节机构安装在所述底座下方。本发明的精密定位台具有工位切换功能、水平向微调功能和垂向调节功能，可实现六自由度精密调节和定位，并可满足更多工作位置的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 切换 自由度 精密 定位 | ||
【主权项】：
1、一种可切换工位的六自由度精密定位台，其特征在于：包括吸版台、气浮板、水平向微调机构、底座和垂向调节机构，所述吸版台通过一工位切换机构安装在气浮板的上方，用于承载掩模版，所述水平向微调机构和气浮板连接，用于驱动气浮板在水平方向上移动，所述气浮板下方连接底座，所述垂向调节机构安装在所述底座下方。
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