[发明专利]一种健壮性音叉振动式微机械陀螺

摘要

一种健壮性音叉振动式微机械陀螺，其包括：第一基板及其上的两组对称检测用栅形固定电极、固定于第一基板上的四个锚点、悬于第一基板上方的第二基板组成；第二基板包括左、右结构以及连接左、右结构的中间结构，左结构包括可沿检测方向(y向)振动的一个检测质量块、检测质量块与驱动质量块之间的四个检测弹性梁、可沿垂直于检测方向的驱动方向(x向)振动的一个驱动质量块、与驱动质量块相连的四个驱动弹性梁。该中间结构包括与驱动弹性梁相连的两个中间耦合质量块、通过四个锚点与中间耦合质量块相连的中间耦合弹性梁。本陀螺无需真空封装，且具有较高灵敏度和带宽、较好的抗干扰能力；对环境和加工误差不敏感，具有较好的健壮性。

主权项

1.一种健壮性音叉振动式微机械陀螺，其特征在于：包括：(a)第一基板(1)及其上的两组对称检测用栅形固定电极(2)、固定于第一基板上的四个锚点(3)、悬于第一基板上方的第二基板(4)；(b)第二基板包括左、右结构以及连接左、右结构的中间结构，左结构(5)包括可沿检测方向振动的一个检测质量块(6)、检测质量块与驱动质量块之间的四个检测弹性梁(7)、可沿垂直于检测方向的驱动方向振动的一个驱动质量块(8)、与驱动质量块相连的四个驱动弹性梁(9)；右结构(10)与左结构相同且对称；中间结构(11)包括与驱动弹性梁相连的两个中间耦合质量块(12)、通过四个锚点与中间耦合质量块相连的中间耦合弹性梁(13)。