[发明专利]一种可再编程的激光熔丝器件和连续调整熔丝电阻的方法无效
| 申请号： | 200810041395.4 | 申请日： | 2008-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN101335258A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 张挺;宋志棠;刘波;封松林;陈邦明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于集成电路器件的可再编程激光熔丝器件和连续调整熔丝电阻的方法，其特征在于通过非破坏性改变熔丝的电阻实现对集成电路的调节：采用相变材料替代传统金属线作为熔丝，利用激光实现对相变材料的可逆相变操作，实现被编程熔丝的电阻在高阻和低阻之间的可逆变化。其优点在于：熔丝的电阻连续可调，进而可以通过连续调整熔丝电阻实现对集成电路的精确或者多状态控制和调节。本发明还涉及一种相变材料熔丝的电阻的连续可调方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 编程 激光 器件 连续 调整 电阻 方法 | ||
【主权项】：
1、用于集成电路器件的可再编程激光熔丝器件，其特征在于采用相变材料制作成熔丝，以替代金属线作熔丝，利用激光对相变材料熔丝进行编程。
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