[发明专利]一种椭偏测量的方法及其装置

摘要

为了解决目前椭偏测量需要转动起偏器和检偏器，测量复杂度高、过程繁复等问题，本发明提出，固定方位角地起偏入射光，将起偏后的偏振光照射在待测表面，对经待测表面极化的特征光进行固定方位角的检偏，并获取与待测表面相对应的光强与相位信息，继而基于待测表面的电磁波探测到的特性信息与光强信息的关系，获得待测表面的特性信息。测量中，由于起偏方位角、入射角、检偏方位角可能存在误差，本发明提出使用参考表面对这些角度进行定标，在定标之后，再根据实际的各个角度及与待测表面相对应的光强和相位信息，由基于待测表面的电磁波探测到的特性信息与光强信息的关系，确定待测表面的特性信息。

主权项

1.一种基于椭圆偏振技术的对待测表面的由电磁波探测到的特性信息进行确定的方法，其中，包括如下步骤：i.根据固定起偏方位角来对光线进行起偏，以得到偏振光；ii.将所述偏振光照射在所述待测表面上，以得到经所述待测表面反射、和/或透射、和/或衍射后的特征光；iv.根据固定检偏方位角来对所述特征光中的一个或多个进行检偏，分离出所述一个或多个特征光各自的p分量和s分量；v.分别检测所述特征光的p分量和s分量的光强，以得到与所述待测表面相对应的一组p分量和s分量的光强信息，并获取其之间的相位关系信息；还包括：a.基于所得到的与所述待测表面相对应的一组光强信息，来根据预定方式确定所述待测表面的由电磁波探测到的所述特性信息。