[发明专利]一种射频电极放电装置

摘要

本发明介绍了一种射频电极放电装置，包括从上到下设置的一平板射频电极、一布气板和一镀膜基板，还包括一金属网板，设置于紧邻布气板下方。本发明通过增设金属网板，大大减小分解出的高能离子和活性基团直接对沉积膜层造成的轰击，加大反应气体的分解率，加快薄膜的沉积速度，提高了薄膜的质量。

主权项

1、一种射频电极放电装置，包括从上到下依次设置的一平板射频电极(1)、一布气板(3)和一镀膜基板(8)，其特征在于，还包括一网板(6)，设置于紧邻布气板(3)下方。