[发明专利]反应室的清洁方法有效
| 申请号： | 200810042802.3 | 申请日： | 2008-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN101670345A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 王炎雷 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘粉宝 |
| 地址： | 215025江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种反应室的清洁方法，首先，进行第一清洁步骤，包括将含氟气体及含氧气体通入反应室，其中含氟气体不包括含硫的氟化物；然后，进行第二清洁步骤，包括将O2通入反应室。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 清洁 方法 | ||
【主权项】：
1、一种反应室的清洁方法，其特征在于，包括：进行一第一清洁步骤，包括将一含氟气体及一含氧气体通入所述反应室，其中所述含氟气体不包括含硫的氟化物；以及进行一第二清洁步骤，包括将O2通入所述反应室。
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