[发明专利]一种采用二氧化碳激光直接钻盲孔的方法有效
申请号: | 200810042935.0 | 申请日: | 2008-09-12 |
公开(公告)号: | CN101372071A | 公开(公告)日: | 2009-02-25 |
发明(设计)人: | 杨宏强;孙成洲;黄伟 | 申请(专利权)人: | 上海美维科技有限公司;上海美维电子有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/06 |
代理公司: | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人: | 竺明 |
地址: | 201600上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种采用二氧化碳激光直接钻盲孔的方法,采用两个或两个以上的不同光圈进行激光直接钻孔,即双光圈或多光圈模式,包括如下步骤是:1)根据要加工孔的孔径大小,选定一个光圈,控制激光脉冲斑点的尺寸,用一个脉冲烧蚀加工板板面上的铜层,使铜层形成一开口;2)再选定另一个光圈,改变激光脉冲斑点的尺寸,该尺寸小于步骤1)中激光脉冲斑点的尺寸,采用一个或多个脉冲烧蚀加工板板面上已经开口的铜层下的介质层,至此,加工板上形成一盲孔。本发明能够产生较好的激光孔形,并减小孔口悬铜,增加孔形锥度,避免电镀中的缺陷,尤其适用于钻孔后的电镀填孔工艺,使得电镀药水容易交换,下凹减小,且电镀后无空洞缺陷;并且制程简单、成本低廉。 | ||
搜索关键词: | 一种 采用 二氧化碳 激光 直接 钻盲孔 方法 | ||
【主权项】:
1.一种采用二氧化碳激光直接钻盲孔的方法,采用两个或两个以上的不同光圈进行激光直接钻孔,即双光圈或多光圈模式;1)根据要加工孔的孔径大小,选定一个光圈,控制激光脉冲斑点的尺寸,用一个脉冲烧蚀加工板板面上的铜层,使铜层形成一开口;2)再选定另一个光圈,改变激光脉冲斑点的尺寸,使得该尺寸小于步骤1)中激光脉冲斑点的尺寸,采用一个或多个脉冲烧蚀加工板板面上已经开口的铜层下的介质层,至此,加工板上形成一盲孔。
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