[发明专利]硅片机械手无效
| 申请号： | 200810043262.0 | 申请日： | 2008-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101559599A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 刘东升 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/10 | 分类号： | B25J9/10;B25J19/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片机械手，包括控制系统、机械手，在所述机械手的下端面和需要到达的位置设有相互配合动作的位置检测装置；当机械手到达指定位置后，如果位置检测装置向所述控制系统发出位置到达信号，则允许搬送硅片，否则报警并停止搬送硅片。本发明能够精确检测机械手和硅片的位置，避免撞碎、划伤硅片、撞坏设备备件，减少损失。适用于半导体器件制造设备。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 机械手 | ||
【主权项】：
1、一种硅片机械手，包括控制系统、机械手，其特征在于：在所述机械手的下端面和需要到达的位置设有相互配合动作的位置检测装置；当机械手到达指定位置后，如果位置检测装置向所述控制系统发出位置到达信号，则允许搬送硅片，否则报警并停止搬送硅片。
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