[发明专利]CMP设备的死机报警方法及其装置有效
| 申请号： | 200810043804.4 | 申请日： | 2008-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101683723A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 祝志敏 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B57/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 平 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CMP设备的死机报警方法，所述CMP设备包括至少一个研磨台，每个研磨台具有至少一路研磨液管道，每路研磨液管道都具有一个终端阀门，所述终端阀门仅在该路研磨液管道排放研磨液或纯水时开启，所述方法监测所述CMP设备的所有研磨台的所有研磨液管道的终端阀门，从所有终端阀门均为关闭时开始计时，当所有终端阀门均为关闭的状态持续到预设时间时，即发出报警信号。为此，本发明还公开了一种实施上述方法的CMP设备的死机报警装置。本发明完善了CMP设备的自动报警功能，降低了CMP设备的使用风险和故障率，保证了制品的作业安全，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | cmp 设备 死机 报警 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种CMP设备的死机报警方法，所述CMP设备包括至少一个研磨台，每个研磨台具有至少一路研磨液管道，每路研磨液管道都具有一个终端阀门，所述终端阀门仅在该路研磨液管道排放研磨液或纯水时开启，其特征是：所述方法监测所述CMP设备的所有研磨台的所有研磨液管道的终端阀门，从所有终端阀门均为关闭时开始计时，当所有终端阀门均为关闭的状态持续到预设时间时，发出报警信号。
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