[发明专利]一种DLC红外抗反射保护膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200810045240.8 | 申请日： | 2008-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101464528A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 黄宁康;代海洋;陈剑瑄 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | G02B1/11 | 分类号： | G02B1/11;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/54 |
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| 地址： | 610064四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种DLC红外抗反射保护膜及其制备方法。所说的红外抗反射保护膜是在较宽的红外波段具有抗反射效果，同时使镀膜后的光学元件具有耐磨抗蚀的能力。本发明的红外抗反射保护膜，是在ZnSe(1)上制备双层膜，第一层高折射率薄膜(2)的折射率n1为1.8～2.5，厚度d1在0.25λ/n1左右范围内；第二层低折射率薄膜(3)的折射率n2至少比第一层薄膜的折射率n1小0.1，并且其厚度d2在0.25λ/n2左右范围内(其中λ是红外抗反射膜的抗反射的中心波长)。制备方法是采用非平衡中频或射频磁控溅射法，以石墨为靶源，碳氢化合物和Ar的混合气体或纯Ar作为辅助放电气体，在红外透明基体上可双面或单面沉积类金刚石(DLC)抗反射膜。通过沉积参数的控制制备出折射率不同的两层DLC薄膜，通过时间的控制得到每层薄膜所需要的厚度。本发明方法薄膜沉积参数控制简便，各沉积参数之间干扰少，抗反射效果及耐磨抗蚀性能较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dlc 红外 反射 保护膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种DLC红外抗反射保护膜，所述DLC红外抗反射保护膜成膜于ZnSe的入射面或者入射面和出射面上，以降低入射光线的反射光量，所述红外抗反射保护膜的特征在于，其具有不同折射率的双层薄膜层的结构，两层薄膜材料均为类金刚石(DLC)材料。
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