[发明专利]改善太阳能电池扩散的方法

摘要

本发明公开了一种改善太阳能电池扩散的方法，其步骤是：A.采用硅原料、导电类型P型；B.扩散：硅片在高温中与氧气，三氯氧磷发生化学反应，生成磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯气；C.通氧再分布：再通入氧气与未消耗完的PCl₅继续反应生成磷：D.与再分布相结合的磷原子Drive in过程；E.经过上述扩散，再分布和Drive in过程之后表面方块电阻为28～38Ω/□。本发明该可提升高电阻率单晶硅太阳能电池的转换效率高，扩散后硅片表面扩散均匀，方法易行，操作简便，成本低廉。

主权项

1、一种改善太阳能电池扩散的方法，其步骤是：A、采用硅原料，导电类型P型，厚度280um～310um，电阻率0.5～10Ωcm；B、扩散：硅片在800-900℃气氛中与氧气，三氯氧磷发生化学反应，生成磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯气，方程式如下：Si+O2＝SiO2；5POCl3＝3PCl5+P2O5；4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2↑；2P2O5+5Si＝5SiO2+4P；扩散过程气体流量：大氮20～35L/min；小氮1.6～2.5L/min；氧气2.0～3.5L/min；持续时间20～40min；C、通氧再分布，扩散B步骤后，再通入氧气1～4L/min，与未消耗完的PCl5 继续反应生成磷：4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2↑；2P2O5+5Si＝5SiO2+4P；磷原子继续扩散，温度控制在830℃～900℃；气体流量：大氮20～35L/min；停止通小氮；氧气1～4L/min；持续时间5～15min；D、与再分布相结合的磷原子Drive in过程：通氧再分布过程结束后，继续通入大氮20～35L/min；停止通小氮和氧气；持续时间8～20min；温度控制在830℃～900℃；E、经过上述B、C、D步骤扩散，再分布和Drive in过程之后表面方块电阻为28～38Ω/□。