[发明专利]具有不同排列方式的异质结构介电薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 200810048174.X | 申请日： | 2008-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101312079A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 周静;陈文;朱杰;朱泉峣;孙华君;徐庆;雷琼;沈杰 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | H01B3/12 | 分类号： | H01B3/12;H01B3/10;C04B35/03;C04B35/465;C04B35/495;C04B35/622;B32B9/00;B32B7/02 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 张安国 |
| 地址： | 430070湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有不同排列方式的Ca(Mg1/3Nb2/3)O3/CaTiO3异质结构介电薄膜材料及其制备方法。采用多种不同的复合叠加方式，获得了具有不同相结构和介电性能的异质结构介电薄膜材料，并证明薄膜层的排列方式对异质薄膜的结构与性能有较大影响。在非周期性重复排列方式中，仅有CaTiO3－CaMg1/3Nb2/3O3排列方式的异质介电薄膜具有单一的钙钛矿结构，而且薄膜表面均一致密。周期单元周期性重复排列方式中，改变排列方式不影响薄膜的结构，不同叠层结构均具有单一钙钛矿结构，薄膜表面均一致密。相对于非周期重复排列薄膜，周期单元周期性重复排列方式提高了异质薄膜的介电性能，而介电损耗较低。本发明的CaMg1/3Nb2/3O3/CaTiO3异质结构的介电薄膜，适用于薄膜化与小型化的微波通信领域介质元件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 不同 排列 方式 结构 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种异质结构介电薄膜，其特征是，该介电薄膜由CaMg1/3Nb2/3O3膜层与CaTiO3膜层按不同排列方式堆垛构成，薄膜厚度为100nm～2μm，排列方式为非周期性重复排列或者周期单元周期性重复排列，所述的CaMg1/3Nb2/3O3膜层与CaTiO3膜层的层数比为2∶1。
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