[发明专利]Mg掺杂ZnO纳米线电化学沉积制备方法无效

专利信息
申请号: 200810051709.9 申请日: 2008-12-30
公开(公告)号: CN101476155A 公开(公告)日: 2009-07-08
发明(设计)人: 李金华;方铉;赵东旭;王晓华;魏志鹏;苏广义 申请(专利权)人: 长春理工大学
主分类号: C30B29/16 分类号: C30B29/16;C30B29/62;C30B30/02;C25D9/04;C01G9/02;H01L21/368
代理公司: 长春科宇专利代理有限责任公司 代理人: 曲 博
地址: 130022吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: Mg掺杂ZnO纳米线电化学沉积制备方法属于半导体发光材料技术领域。现有制备Mg掺杂ZnO纳米材料的分子束外延、金属有机化学气相沉积和磁控溅射等方法需要使用昂贵设备,并且能耗大、成本高、操作复杂,原料的利用率低,可重复性差。本发明采用电化学沉积方法制备Mg掺杂ZnO纳米线,首先配置先驱体溶液,锌源为醋酸锌,镁源为醋酸镁,六次甲基四胺作为表面活性剂,所述两种金属离子物质的量与六次甲基四胺物质的量相等;然后进行电化学沉积,将先驱体溶液转入三电极体系,其中以导电衬底作为工作电极,箔片作为辅助电极,Ag/AgCl作为参比电极,沉积温度为80~90℃,沉积时间为0.5~1.0h,沉积电位为-0.8~-1.0V;最后做后处理,将产物冲洗、干燥。
搜索关键词: mg 掺杂 zno 纳米 电化学 沉积 制备 方法
【主权项】:
1、一种Mg掺杂ZnO纳米线电化学沉积制备方法,其特征在于,采用电化学沉积方法制备Mg掺杂ZnO纳米线,其步骤为:(1)配置先驱体溶液,锌源为醋酸锌,镁源为醋酸镁,六次甲基四胺作为表面活性剂,所述两种金属离子物质的量与六次甲基四胺物质的量相等;(2)电化学沉积,将先驱体溶液转入三电极体系,其中以导电衬底作为工作电极,箔片作为辅助电极,Ag/AgCl作为参比电极,沉积温度为80~90℃,沉积时间为0.5~1.0h,沉积电位为-0.8~-1.0V;(3)后处理,将产物冲洗、干燥。
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