[发明专利]用于金刚石对顶砧上原位电学测量的电极及其制作方法

摘要

本发明的用于金刚石对顶砧上原位电学测量的电极及其制作方法属于高温高压装置的技术领域。在金刚石压砧(8)表面沉积4条电极(1)，分布是自金刚石压砧(8)的砧面到侧面；电极(1)是掺杂硼的金刚石膜；金刚石绝缘层(2)覆盖在金刚石压砧(8)的砧面、侧面和电极(1)上，电极(1)在砧面的端头裸露，裸露位置在样品腔(9)内，电极(1)在侧面的端头裸露，接有电极引线(5)。利用薄膜沉积技术、纳米引晶技术、掩膜技术和光刻手段将金刚石薄膜微电路和金刚石绝缘层同时集成到金刚石压砧表面上。本发明防止了横向剪切力对电极的破坏，克服了高压条件下样品对电极的腐蚀，从而拓宽了高压下电学量原位测量的研究领域。

主权项

1、一种用于金刚石对顶砧上原位电学测量的电极，是在金刚石对顶砧其中一颗金刚石压砧(8)的表面沉积2或4条相互隔离的电极(1)；每条电极(1)的分布是自金刚石压砧(8)的砧面到侧面，其特征在于，所述的电极(1)是掺杂硼的金刚石膜；电极(1)上沉积有金刚石绝缘层(2)，金刚石绝缘层(2)覆盖在金刚石压砧(8)的砧面、侧面和电极(1)上，同时使电极(1)在砧面的端头裸露，裸露端头的位置在金刚石对顶砧的样品腔(9)内，同时使电极(1)在侧面的端头裸露，裸露端头上接有电极引线(5)。