[发明专利]一种射频自动阻抗匹配器及其实现方法

摘要

本发明实施例公开了一种射频自动阻抗匹配器实现方法，在控制器与负载接地电容之间设置一个用于控制负载接地电容的驱动装置；控制器获取当前的工艺条件，根据预先确定并存储的不同工艺条件下对应的最优负载接地电容值，确定与所述工艺条件对应的最优负载接地电容值；所述控制器控制所述驱动装置将所述负载接地电容的当前值调整为所述确定的最优负载接地电容值。本发明实施例同时公开了一种射频自动阻抗匹配器。应用本发明实施例所述的射频自动阻抗匹配器实现方法及射频自动阻抗匹配器，能够将当前的负载接地电容值自动调整为与当前工艺条件对应的最优值。

主权项

1、一种射频自动阻抗匹配器，包括：传感器以及执行机构，其特征在于，所述射频自动阻抗匹配器还包括：控制器、驱动装置以及负载接地电容；所述控制器，用于获取当前的工艺条件，根据预先确定并存储的不同工艺条件下对应的最优负载接地电容值，确定与所述当前工艺条件对应的最优负载接地电容值，并控制所述驱动装置将所述负载接地电容的当前值调整为所述确定的最优负载接地电容值；所述驱动装置，用于在所述控制器的控制下，将所述负载接地电容的当前值调整为所述控制器确定的最优负载接地电容值；所述负载接地电容，用于在所述驱动装置的控制下，改变自身电容值。