[发明专利]平板玻璃基板减薄蚀刻槽无效

专利信息
申请号: 200810056267.7 申请日: 2008-01-16
公开(公告)号: CN101215100A 公开(公告)日: 2008-07-09
发明(设计)人: 王乾旭;王道鹏;朱墨雨;朱斌 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;京东方(河北)移动显示技术有限公司;京东方现代(北京)显示技术有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 代理人: 刘芳
地址: 100016*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种平板玻璃基板减薄蚀刻槽,包括一槽体,所述槽体为长方体形罐体,槽体侧壁的上部开设有进液口,槽体侧壁的下部开设有抽液口,槽体底壁的中心处开设有排液口,槽体底壁上方设置有鼓泡板,所述鼓泡板上开设有均匀分布的圆形鼓泡孔。因此,本发明通过槽体侧壁上开设的进液口与抽液口形成了底部抽液、顶部进液的主动循环模式,能够将蚀刻液从槽体的底部抽出从槽体的顶部回到槽体中,达到了蚀刻液均匀的目的,从而可以蚀刻出厚度均匀的玻璃基板;另外还通过槽体底壁上方设置的开设有均匀分布的圆形鼓泡孔的鼓泡板,能够促使蚀刻液更加均匀,而且还能够及时去除附着在玻璃表面的反应生成物,从而可以蚀刻出表面效果良好的玻璃基板。
搜索关键词: 平板玻璃 基板减薄 蚀刻
【主权项】:
1.一种平板玻璃基板减薄蚀刻槽,其特征在于包括一槽体,所述槽体为长方体形罐体,槽体侧壁的上部开设有进液口,槽体侧壁的下部开设有抽液口,槽体底壁的中心处开设有排液口,槽体底壁上方设置有鼓泡板,所述鼓泡板上开设有均匀分布的圆形鼓泡孔。
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