[发明专利]一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘无效
申请号: | 200810056584.9 | 申请日: | 2008-01-22 |
公开(公告)号: | CN101239446A | 公开(公告)日: | 2008-08-13 |
发明(设计)人: | 胡自强;凌宁;潘君骅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所;烟台大学 |
主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B41/04 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人: | 贾玉忠;卢纪 |
地址: | 61020*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘,由底座(1)、N个压电陶瓷驱动器(2)、基盘(3)和导线插座(4)组成;其特征在于:底座(1)上表面是球面,N个压电陶瓷驱动器(2)沿径向安装在底座(1)上表面上,基盘(3)是安装在压电陶瓷驱动器(2)上的铝质球面薄板,导线插座(4)安装在底座的下表面;每一个压电陶瓷驱动器(2)通过导线插座(4)与相应的加载在其上的数控电压源相联接,每一个压电陶瓷驱动器(2)都能够通过改变加载在其上的电压产生一定的伸缩变化,使基盘(3)的面型能够相应改变,以方便与被加工的非球面镜的局部面型相吻合,以达到抛光的目的;本发明的变形抛光磨盘体积小、输出非球面面型精度高,具有广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 压电 陶瓷 驱动器 变形 抛光 磨盘 | ||
【主权项】:
1、一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘,由底座(1)、N个压电陶瓷驱动器(2)、基盘(3)和导线插座(4)组成;其特征在于:底座(1)上表面是球面,N个压电陶瓷驱动器(2)沿径向安装在底座(1)上表面上,基盘(3)是安装在压电陶瓷驱动器上的球面薄板,导线插座(4)安装在底座的下表面。
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