[发明专利]一种阻抗匹配器有效
| 申请号： | 200810056600.4 | 申请日： | 2008-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN101494946A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王 琦;王诚华 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阻抗匹配器，其包括：电压电流传感器，用于监测等离子体反应室内的阻抗状态，输出表征等离子体反应室阻抗状态的信号至控制系统；控制系统，用于按照事先确定的匹配控制方法生成控制信号，驱动执行机构调节射频电源的负载阻抗，实现射频电源的输出阻抗与射频电源的负载阻抗的匹配；采集电压电流传感器的表征等离子体反应室阻抗状态的信号，并根据表征等离子体反应室阻抗状态的信号计算出等离子体反应室的阻抗值；执行机构，用于接收控制系统的控制信号，根据控制信号调节射频电源的负载阻抗。通过采用上述技术方案，本发明实现了对射频电源负载阻抗状态的精确监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阻抗 配器 | ||
【主权项】：
1、一种阻抗匹配器，其特征在于包括：电压电流传感器，用于监测等离子体反应室内的阻抗状态，输出表征等离子体反应室阻抗状态的信号至控制系统；控制系统，用于按照事先确定的匹配控制方法生成控制信号，驱动执行机构调节射频电源的负载阻抗，实现射频电源的输出阻抗与射频电源的负载阻抗的匹配；采集电压电流传感器的表征等离子体反应室阻抗状态的信号，并根据表征等离子体反应室阻抗状态的信号计算出等离子体反应室的阻抗值；执行机构，用于接收控制系统的控制信号，根据控制信号调节射频电源的负载阻抗。
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