[发明专利]一种实现高精度埋阻的方法及装置有效
| 申请号： | 200810057562.4 | 申请日： | 2008-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN101227800A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王洪利 | 申请（专利权）人： | 深圳华为通信技术有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/30 | 分类号： | H05K3/30;H05K3/46 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 何文彬 |
| 地址： | 518129广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现高精度埋阻的方法及装置，属于电子设备领域。所述方法包括：所述方法包括：蚀刻预设埋阻图形连接端子和非埋阻区域互连线路以外的导体层，得到埋阻长度方向的成形尺寸和非埋阻区域互连线路；测量所述埋阻长度方向的成形尺寸；根据所述测量的埋阻长度方向的成形尺寸计算修正的埋阻宽度方向的成形尺寸；根据所述修正的埋阻宽度方向的成形尺寸，蚀刻电阻层，得到成形的埋阻。本发明所述技术方案先蚀刻出埋阻长度方向的成形尺寸和非埋阻区域互连线路；再通过蚀刻埋阻宽度方向的成形尺寸，对蚀刻埋阻长度方向的成形尺寸造成的误差进行修正，从而有助于提高最终成形的埋阻的阻值精度，使埋阻加工工艺更容易控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 高精度 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种实现高精度埋阻的方法，其特征在于，所述方法包括：蚀刻预设埋阻图形连接端子和非埋阻区域互连线路以外的导体层，得到埋阻长度方向的成形尺寸和非埋阻区域互连线路；测量所述埋阻长度方向的成形尺寸；根据所述测量的埋阻长度方向的成形尺寸计算修正的埋阻宽度方向的成形尺寸；根据所述修正的埋阻宽度方向的成形尺寸，蚀刻电阻层，得到成形的埋阻。
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