[发明专利]复合蓝色水晶衬底基片及其制备方法有效
| 申请号： | 200810059202.8 | 申请日： | 2008-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101197418A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王元成;王丽娜 | 申请（专利权）人： | 王元成 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 | 代理人： | 王晓峰 |
| 地址： | 322200浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及蓝水晶衬底，尤其涉及一种复合蓝水晶衬底基片及其制备方法。复合蓝色水晶衬底基片，包括蓝色水晶晶片(α－SiO2)，在蓝色水晶晶片(α－SiO2)表面复合设有一层硅酸锂(γ－Li2SiO2)。本发明是利用气相传输平衡方法制备而成的，该复合蓝色水晶衬底基片(Li2SiO2/α－SiO2)，克服了传统的蓝宝石衬底基片(Li2AlO2/α－Al2O3)价格高，硬度高，不易加工等缺点，划片的成品率在90％左右。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 蓝色 水晶 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.复合蓝色水晶衬底基片，包括蓝色水晶晶片(α-SiO2)，其特征在于：在蓝色水晶晶片(α-SiO2)表面复合设有一层硅酸锂(γ-Li2SiO2)。
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