[发明专利]适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构无效
| 申请号： | 200810060160.X | 申请日： | 2008-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101277099A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 董树荣;韩雁;赵士恒;程维维;王德苗;李侃 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13 |
| 代理公司： | 杭州君易知识产权代理事务所 | 代理人： | 陈向群 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于新型射频电子元器件领域，特别是涉及一种适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构；它包括高声抗阻层和低声抗阻层，其特征在于所述高声抗阻层和低声抗阻层为金属薄膜，其中高声抗阻层由钨与钼中的一种材料构成，低声抗阻层由金属铝构成，所述高声抗阻层与低声抗阻层交替叠合而成；所述高、低声抗阻层的厚度为1/4或3/4声波波长。所述高、低声抗阻层的层数相对应，其层数为3－7层；该布拉格反射层具有工艺简单、膜厚便于控制且重复性好、金属之间结力好和金属间热应力小，是一种用于薄膜体声波器件的布拉格声反射层的良好材料和结构。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 fbar 金属 布拉格 声波 反射层 结构 | ||
【主权项】：
1、适用于FBAR的金属布拉格声波反射层结构，包括高声抗阻层和低声抗阻层，其特征在于所述高声抗阻层和低声抗阻层为金属薄膜，其中高声抗阻层由钨与钼中的一种材料构成，低声抗阻层由金属铝构成，所述高声抗阻层与低声抗阻层交替叠合而成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810060160.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：改进的球拍穿线机的夹线器结构
- 下一篇：宽带砂光机磨垫挠度调整机构
