[发明专利]一种基于双材料微悬臂梁的薄膜热电变换器的结构及制作方法无效
| 申请号： | 200810060613.9 | 申请日： | 2008-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN101566643A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;卢少勇;李青 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01R19/03 | 分类号： | G01R19/03;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双材料微悬臂梁的薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器主要由加热电阻1、双材料微悬臂梁2和密封环3组成。双材料微悬臂梁2测量加热电阻1温度的原理与传统的双金属片温度传感器类似，加热电阻1温度升高后其热量经对流、辐射或热传导等途径引起双材料微悬臂梁2温度升高。由于组成双材料微悬臂梁2的两种材料的热膨胀系数不同，双材料微悬臂梁2自由端挠度或根部应变发生变化，通过检测元件9检测双材料微悬臂梁2形变后可获得加热电阻1的温度信息。本发明所涉及的基于双材料微悬臂梁的薄膜热电变换器具有以下优点：利用双材料微悬臂梁2测量加热电阻1的灵敏度高、经双材料微悬臂梁温度敏感元件传导到衬底的热量极小、加热电阻可以灵活设计、交直流转换误差小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 材料 悬臂梁 薄膜 热电 变换器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于微桥谐振器的红外探测器，其特征在于：薄膜热电变换器主要由加热电阻1、双材料微悬臂梁2和密封环3组成。
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