[发明专利]一种基于微型桥谐振器的薄膜热电变换器的结构及制作方法无效
| 申请号： | 200810060614.3 | 申请日： | 2008-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN101566506A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;卢少勇;李青 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微型桥谐振器2的薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器主要由加热电阻1、微型桥谐振器2和密封环3组成。加热电阻1温度升高后其热量经对流、辐射或热传导等途径引起微型桥谐振器2温度升高。由于组成微型桥谐振器2的材料的热膨胀系数不同，受热后轴向压应力增加(或拉应力下降)，谐振频率下降，通过测量谐振频率的变化可反映出加热电阻1的温度信息。本发明所涉及的基于微型桥谐振器的薄膜热电变换器具有以下优点：利用微型桥谐振器测量加热电阻的灵敏度高、经微型桥谐振器传导到衬底的热量极小、加热电阻可以灵活设计、交直流转换误差小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微型 谐振器 薄膜 热电 变换器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于微型桥谐振器的薄膜热电变换器，其特征在于：薄膜热电变换器主要由加热电阻1、微型桥谐振器2和密封环3组成。
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