[发明专利]并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置有效
| 申请号： | 200810063952.2 | 申请日： | 2008-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101221273A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 梁迎春;白清顺;于福利;张庆春;孙雅洲;富宏亚 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，它涉及一种高精度大口径光栅拼接装置。本发明可以解决国内无高精度大口径光栅拼接装置的问题。二维运动平台部件(7)固定在基座(6)上，动光栅部件(1)的下端与二维运动平台部件(7)的上端球铰接，定光栅部件(4)固装在基座(6)上，第一X轴直线驱动器(2)、第三X轴直线驱动器(9)、第二X轴直线驱动器(8)由上至下沿X轴方向依次设置在基座(6)上，第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)由上至下沿Y轴方向依次设置在基座(6)上，每个直线驱动器分别与基座(6)和动光栅部件(1)固接。本发明具有结构紧凑、调整方便、操作灵活、拼接精度高等优点，可以实现大面积的动光栅与静光栅在空间五个自由度方向上的高精度拼接。 | ||
| 搜索关键词： | 并联 式宏微 驱动 高精度 口径 光栅 拼接 装置 | ||
【主权项】：
1.一种并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，其特征在于它由动光栅部件(1)、定光栅部件(4)、五个直线驱动器、二维运动平台部件(7)、基座(6)组成；所述二维运动平台部件(7)固定在基座(6)上，所述动光栅部件(1)的下端与二维运动平台部件(7)的上端球铰接，所述定光栅部件(4)固装在基座(6)上，所述五个直线驱动器分别是第一X轴直线驱动器(2)、第二X轴直线驱动器(8)、第三X轴直线驱动器(9)、第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)，所述第一X轴直线驱动器(2)、第三X轴直线驱动器(9)、第二X轴直线驱动器(8)由上至下沿X轴方向依次设置在基座(6)上，所述第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)由上至下沿Y轴方向依次设置在基座(6)上，所述每个直线驱动器分别与基座(6)和动光栅部件(1)固接。
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