[发明专利]具有主动控制能力的微流体泵

摘要

本发明公布了一种具有主动控制能力的微流体泵，采用一种具有圆环面边界的微流体主动控制阀构成进液阀和出液阀，采用电可控薄膜执行元件覆盖在泵体的圆柱形沉孔的开口面构成泵腔，泵腔与微流体阀的圆环柱形(圆柱形中心孔)液腔相连，且微流体阀的圆柱形中心孔(圆环柱形)液腔分别与进液口和出液口相连。改变作用于微流体阀与泵的薄膜执行元件的控制信号(周期信号、正信号)的频率、幅值、相位关系控制微流体泵的流量、脉动性、输出压力。在没有驱动信号时微流体阀的薄膜执行元件与圆环形边界具有预压紧力，处于常闭状态。本发明的具有主动精确控制能力的微流体泵为双向可控的具有主动精确控制能力的微流体泵。

主权项

1.一种具有主动控制能力的微流体泵，包括一个圆柱形泵腔、两个圆环柱形阀腔和分别与所述两个圆环柱形阀腔同轴的微流体阀的圆柱形中心孔，所述两个微流体阀的圆柱形中心孔与各自同轴的圆环柱形阀腔之间形成一个圆环面边界，两个微流体阀的薄膜执行元件与各自的圆环面边界接触将圆柱形中心孔与圆环柱形阀腔隔开，分别构成一个进液阀和一个出液阀，所述两个圆环柱形阀腔分别通过第一和第二过流通道与所述圆柱形泵腔相连，其特征在于：将微流体泵的薄膜执行元件覆盖在泵体的圆柱形泵腔上方形成密闭的泵腔，将两个所述微流体阀的薄膜执行元件分别覆盖在泵体上的两个圆环柱形阀腔及与分别其同轴的所述微流体阀的圆柱形中心孔上方构成进液阀和出液阀，通过上述进液阀的薄膜执行元件、微流体泵的薄膜执行元件以及出液阀的薄膜执行元件的有序振动或位移使进液阀和出液阀主动开启和关闭来实现微流体泵的泵入、泵出、止流、流量及压强的连续精确主动控制。