[发明专利]光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台无效
| 申请号： | 200810071700.4 | 申请日： | 2008-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN101359082A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 张建寰;陈文 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;H01L41/09;G01B11/02 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人： | 马应森;刘勇 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台，涉及一种柔性铰链工作台。设有二维柔性铰链平台、横向压电陶瓷驱动器、纵向压电陶瓷驱动器、横向光纤位移传感器和纵向光纤位移传感器；二维柔性铰链平台上设有横向安装孔和纵向安装孔，以及横向光纤安装道和纵向光纤安装道，横向压电陶瓷驱动器和纵向压电陶瓷驱动器分别设于横向安装孔中和纵向安装孔中，横向光纤位移传感器设有横向光纤，纵向光纤位移传感器设有纵向光纤，横向光纤和纵向光纤分别设于横向光纤安装道和纵向光纤安装道中，横向光纤安装道及纵向光纤安装道均设有弯齿结构，横向光纤和纵向光纤的输出端外接检测闭环控制装置。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 位移 反馈 闭环控制 二维 柔性 铰链 工作台 | ||
【主权项】：
1.光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台，其特征在于设有二维柔性铰链平台、横向压电陶瓷驱动器、纵向压电陶瓷驱动器、横向光纤位移传感器和纵向光纤位移传感器；二维柔性铰链平台上设有横向安装孔和纵向安装孔，以及横向光纤安装道和纵向光纤安装道，横向压电陶瓷驱动器和纵向压电陶瓷驱动器分别设于横向安装孔中和纵向安装孔中，横向光纤位移传感器设有横向光纤，纵向光纤位移传感器设有纵向光纤，横向光纤和纵向光纤分别设于横向光纤安装道和纵向光纤安装道中，横向光纤安装道及纵向光纤安装道均设有弯齿结构，横向光纤和纵向光纤的输出端外接检测闭环控制装置。
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