[发明专利]一种晶体生长提拉装置无效
| 申请号： | 200810072129.8 | 申请日： | 2008-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101736395A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 邹宇琦;叶宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350002 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 晶体生长提拉装置属于一种生产各种高温、高真空人工晶体专用设备的晶体生长提拉装置设计。其特征在于：籽晶杆为水冷套双夹层结构，水冷套通冷却水降温；籽晶杆可沿固定轴水平旋转360°，在任意角度固定；支撑部分为上下两层，下层起旋转和支撑作用，上层起籽晶杆升降作用；真空度使用范围高于10-3Pa。本发明设计的目的在于提供一种高温高真空生长晶体方便拆卸安装的炉体设计，其目的在于解决：其一，解决籽晶杆的真空保护问题；其二可解决安装拆卸安全快捷问题；其三，可用于低挥发性晶体生长；其四，可以进行气氛生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
一种高温、高真空、可用于气氛生长的晶体生长提拉装置设计。真空套管(4)、称重旋转室(5)、提拉系统(6)、小炉盖提拉下降手动摇柄(7)、籽晶杆手动提拉下降手动摇柄(8)、提拉系统固定(9)、定位扳手(10)、下支撑杆(11)、下支撑杆固定(12)。
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