[发明专利]用于通过粒子束和光学显微镜观测样品的设备

摘要

本发明涉及一种用于通过粒子束和光学显微镜观测样品的设备。该设备通过TEM镜筒和光学高分辨率的扫描显微镜(10)观测样品(1)。通过TEM镜筒观测样品时的样品位置不同于通过光学显微镜观测样品时的样品位置，这是因为在后一情形中样品朝向光线－光学显微镜倾斜。通过使用扫描类型的光学显微镜，且优选使用单色光线，光学显微镜面对样品位置的透镜元件(11)可足够地小以便定位在(磁性)粒子－光学物镜(7)的极面(8A、8B)之间。这与光学显微镜中常规使用的显示为大直径的物镜系统相反。此外，光学显微镜或至少是靠近样品的部分(11)可以是缩回的以便释放在以TEM模式成像时的空间。

主权项

1.一种用于使用粒子束对薄样品(1)成像和通过光线对所述样品成像的粒子-光学设备，所述设备包括：用于沿粒子-光学轴线(3)产生粒子束的粒子源(2)，布置在所述粒子-光学轴线周围用于操纵所述粒子束的粒子-光学透镜(4A、4B、4C、4D、7)，用于将所述样品定位在所述粒子-光学轴线上和其中一个所述粒子-光学透镜的所谓粒子-光学物镜(7)的极面(8A、8B)之间的样品操纵器(5)，所述样品操纵器能够相对于所述粒子-光学轴线倾斜所述样品，用于探测透射过所述样品的粒子的探测器(9)，和光线-光学显微镜(10)，其特征在于，所述光线-光学显微镜配备成在所述样品大致定位在所述粒子-光学轴线上并倾斜成使得所述样品面对所述光线-光学显微镜时对所述样品成像，所述光线-光学显微镜是所谓的扫描光线-光学显微镜，配备成用光斑照亮所述样品，所述光斑由聚焦单元(11)形成，所述光线-光学显微镜配备成扫描所述样品上的点，和至少所述聚焦单元可缩回地安装，以便当使用所述粒子束对所述样品成像时释放所述极面之间的空间。