[发明专利]抛光头有效
| 申请号： | 200810079277.2 | 申请日： | 2008-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN101342681A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 种宝春;柳滨;周国安 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B24B41/047 | 分类号： | B24B41/047;H01L21/304 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 065201河北省三*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于半导体晶圆的化学机械抛光设备上的抛光头。本发明包括转动轴，沿转动轴由上至下依次设有上盖盘、传动盘、基盘、围持环和背膜，传动盘与传动轴固定，上盖盘与基盘固定，传动盘上装有弹簧顶销，弹簧顶销的上端部与上盖盘的内上表面相接触，传动盘与基盘间设有传动销，背膜贴覆于基盘的下表面上，且其周圈设固定环与基盘固定，围持环悬吊于基盘上，传动盘与基盘间设有活动平衡关节装置，本抛光头抛光质量好、抛光平整度高。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
1、一种抛光头，其特征是它包括转动轴(101)，沿转动轴(101)由上至下依次设有上盖盘(110)、传动盘(102)、基盘(104)、围持环(108)和背膜(107)，所说传动盘(102)与传动轴(101)固定，上盖盘(110)与基盘(104)固定，传动盘(102)上装有弹簧顶销(114)，弹簧顶销(114)的上端部与上盖盘(110)的内上表面相接触，传动盘(102)与基盘(104)间设有传动销(103)，背膜(107)贴覆于基盘(104)的下表面上，且其周圈设固定环(113)与基盘(104)固定，围持环(108)沿圆周均布有三个或三个以上的悬吊杆，悬吊杆与基盘(104)所设的悬吊孔相配合，与悬吊杆对应设置的弹簧柱塞(117)安装在上盖盘(110)上，弹簧柱塞(117)的下端顶在悬吊杆的杆体上，传动盘(102)与基盘(104)间设有活动平衡关节装置。
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