[发明专利]可移动微器件

摘要

一种可移动微器件，包括可移动部件、框架及连接部件。可移动部件具有主要部分、第一电容器电极及第一驱动器电极。电容器电极和驱动器电极具有从主要部分延伸的电极齿。框架包括第二电容器电极和第二驱动器电极，其中第二电容器电极具有朝向第一电容器电极延伸的电极齿，而第二驱动器电极具有朝向第一驱动器电极延伸的电极齿。连接部件将可移动部件连接到框架。第一电容器电极和第二电容器电极的电极齿在其初始位置交叠。可移动部件可旋转以改变第一驱动器电极与第二驱动器电极之间交叠的程度。

主权项

1.一种可移动微器件，包括：可移动部件，包括可移动主要部分、第一电容器梳齿形电极以及第一驱动器梳齿形电极，所述第一电容器梳齿形电极具有从所述可移动主要部分延伸的多个电极齿，所述第一驱动器梳齿形电极具有从所述可移动主要部分延伸的多个电极齿；框架，包括第二电容器梳齿形电极和第二驱动器梳齿形电极，所述第二电容器梳齿形电极具有朝向所述第一电容器梳齿形电极延伸的多个电极齿，所述第二驱动器梳齿形电极具有朝向所述第一驱动器梳齿形电极延伸的多个电极齿；以及连接部件，将所述可移动部件与所述框架彼此连接；其中所述第一电容器梳齿形电极和所述第二电容器梳齿形电极是由金属材料制成，并且具有在初始位置交叠的电极齿，其中所述第一驱动器梳齿形电极和所述第二驱动器梳齿形电极是在同一材料层中制成，并且其中所述可移动部件是可旋转的，用以改变所述第一驱动器梳齿形电极与所述第二驱动器梳齿形电极之间所述电极齿交叠的程度。