[发明专利]温度循环测试装置及利用此装置加热芯片倒装封装结构有效
申请号: | 200810083032.7 | 申请日: | 2008-03-18 |
公开(公告)号: | CN101252099A | 公开(公告)日: | 2008-08-27 |
发明(设计)人: | 钟启生;赖逸少;叶昶麟 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L23/34;H01L23/488;G01R31/00;G01R31/28;G01R31/26 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周长兴 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种适于加热芯片倒装封装结构的温度循环测试装置。芯片倒装封装结构包括第一基板、芯片、第一承载基板与多个第一焊球,芯片与第一承载基板分别配置于第一基板之上表面与下表面。其中,芯片是以芯片倒装接合方式与第一基板电性连接。第一焊球配置于第一基板与第一承载基板之间,且第一基板与第一承载基板由第一焊球而电性连接。温度循环测试装置包括第二基板、热测试芯片、多个凸块、第二承载基板与多个第二焊球。第二基板具有上表面与下表面,而热测试芯片配置于第二基板的上表面上方且贴附于芯片上。凸块配置于第二基板与热测试芯片之间并电性连接第二基板与热测试芯片。第二承载基板配置于第二基板的下表面的下方,而第二焊球配置于第二基板与第二承载基板之间并电性连接第二基板与第二承载基板。 | ||
搜索关键词: | 温度 循环 测试 装置 利用 加热 芯片 倒装 封装 结构 | ||
【主权项】:
1、一种温度循环测试装置,适于加热芯片倒装封装结构,其特征在于,所述芯片倒装封装结构包括第一基板、芯片、第一承载基板以及多个第一焊球,所述芯片与所述第一承载基板分别配置于所述第一基板的一上表面以及一下表面,其中所述芯片是以芯片倒装接合方式与所述第一基板电性连接,所述的第一焊球配置于所述第一基板与所述第一承载基板之间,且所述第一基板与所述第一承载基板由所述第一焊球而电性连接,所述温度循环测试装置包括:第二基板,具有上表面以及下表面;热测试芯片,配置于所述第二基板的所述上表面上方,且贴附于所述芯片上;多个凸块,配置于所述第二基板与所述热测试芯片之间,以电性连接所述第二基板与所述热测试芯片;第二承载基板,配置于所述第二基板的所述下表面的下方;以及多个第二焊球,配置于所述第二基板与所述第二承载基板之间,以电性连接所述第二基板与所述第二承载基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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