[发明专利]具有气体连接机构的设备

摘要

一种具有气体连接机构的设备，包含有一基座、一导引组件，以及一驱动件；基座内部具有一容室，容室设一载料装置，载料装置具有一开口，导引组件具有一通道，导引组件可移动地设于基座，而驱动件用以带动导引组件于一第一位置及一第二位置间移动，导引组件受带动移至第一位置时，导引组件的通道连通于载料装置的开口，导引组件受带动移至第二位置时，通道与开口相互分离。由上述组成构件，本发明即可达成自动且方便地将反应气体输送至须进行沉积镀膜作业处的目的。

主权项

1、一种具有气体连接机构的设备，包含有：一基座，内部具有一容室，该容室设一载料装置，该载料装置具有一开口；一导引组件，具有一通道，该导引组件可移动地设于该基座；以及一驱动件，用以带动该导引组件于一第一位置及一第二位置间移动；该导引组件受带动移至该第一位置时，该导引组件的通道连通于该载料装置的开口，该导引组件受带动移至该第二位置时，该通道与该开口相互分离。