[发明专利]MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端无效
| 申请号： | 200810087276.2 | 申请日： | 2008-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101276707A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 川久保隆;长野利彦;西垣亨彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01H57/00 | 分类号： | H01H57/00;H01H59/00;H01G7/00;H01L41/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈松涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端。具体地说，提供一种工作电压低、接触压力大且分离力大的MEMS器件成为可能。一种MEMS器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的支撑单元；设置在所述衬底上的固定电极；致动器，其包括第一电极、形成于所述第一电极上的第一压电膜以及形成于所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线上，并且设置在所述衬底上，以面对所述第一电极。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 有所 便携式 通信 终端 | ||
【主权项】：
1、一种MEMS器件，包括：衬底；支撑单元，其设置在所述衬底上；固定电极，其设置在所述衬底上；致动器，其包括第一电极、形成在所述第一电极上的第一压电膜以及形成在所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线之上，并且设置在所述衬底上，以便面对所述第一电极。
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