[发明专利]非成品晶圆的库存管理系统、库存管理方法及程序无效

专利信息
申请号: 200810087299.3 申请日: 2008-03-26
公开(公告)号: CN101276444A 公开(公告)日: 2008-10-01
发明(设计)人: 速水政时;筑岛孝之 申请(专利权)人: 恩益禧电子股份有限公司
主分类号: G06Q10/00 分类号: G06Q10/00;G06Q50/00;H01L21/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 陆锦华;李亚
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种非成品晶圆的库存管理系统、库存管理方法及程序,可提高半导体装置生产线中的再生晶圆的利用率,减少新品购买数量。主机(20)使用保管货架(11)将非成品晶圆按照晶圆厚度分为新品、级别A~C,并进行管理。从支出终端(30)收到非成品晶圆的库存查询、支出请求时,主机(20)进行库存回答、支出管理,以从适于使用工序、使用用途的库存中,优先支出属于最薄的晶圆厚度类别的晶圆库存。
搜索关键词: 成品 库存 管理 系统 方法 程序
【主权项】:
1.一种非成品晶圆的管理系统,根据来自支出终端的库存查询,确认非成品晶圆的库存,受理支出请求并进行支出处理,其特征在于,具有:库存管理部,通过晶圆厚度区分并管理上述非成品晶圆;和库存查询处理部,进行回答,以在适合从上述支出终端接收了非成品晶圆的库存查询的条件的库存中,优先支出属于最薄的晶圆厚度类别的晶圆的库存。
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