[发明专利]玻璃基板移载装置

摘要

本发明一种玻璃基板移载装置，包含有一箱体，箱体的上壁面设有通透部，箱体的上壁面并设有一基板支撑组，由多个设于箱体内部上壁面的支撑件所构成，所述支撑件是相隔一预定距设置使二相邻支撑件之间的距离可供一玻璃基板容置，箱体内设有一RF电极组，由多个RF电极板所构成，一接地电极组，由多个接地电极板所构成，RF电极板与接地电极板相互交错间隔的设置于箱体内，并且相邻的RF电极板与接地电极板之间的距离可以容置一玻璃基板。

主权项

1.一玻璃基板移载装置，其特征在于包含有：一箱体，具有左右上三壁面，前后端及底部则呈开通状态，该箱体的上壁面设有通透部，供气体流通，该箱体的上壁面并设有一基板支撑组，该基板支撑组由多个设于该箱体内部上壁面的支撑件所构成，所述支撑件相隔一预定距设置，使二相邻支撑件之间的距离可供玻璃基板容置；一RF电极组，由多个RF电极板所构成，一接地电极组，由多个接地电极板所构成，该RF电极板与该接地电极板相互交错间隔的设置于该箱体内，并且相邻的RF电极板与该接地电极板之间的距离可以容置玻璃基板。