[发明专利]电性光学装置有效
| 申请号： | 200810088544.2 | 申请日： | 2008-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN101276797A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 小田信彦;石田聪;青田雅明;平田朋贤;坂井一善;高须康辅 | 申请（专利权）人： | 爱普生映像元器件有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/485 | 分类号： | H01L23/485;H01L27/12;G02F1/1345;G02F1/1368;G09F9/00;G09F9/30 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是在电性光学装置的端子部中抑制界面电阻的增加。本发明在作为电性光学装置的液晶显示装置的下衬底的像素部(14)中，形成有像素用连接配线(24)、像素用钼膜(96)、像素用透明导电膜(28)的导电堆叠膜，在端子部(20)中，形成有端子用连接配线(124)、端子用钼膜(196)、端子用透明导电膜(128)的导电堆叠膜。像素用连接配线(24)与端子用连接配线(124)在同一步骤中形成，且具有含钛的最上层。此外，像素用钼膜(96)与端子用钼膜(196)在同一步骤中形成，像素用透明导电膜(28)与端子用透明导电膜(128)在同一步骤中形成。此外，也可使用其它可进行湿式蚀刻的导电材料来取代钼膜。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 | ||
【主权项】：
1、一种电性光学装置，其特征在于，具备：像素部；及端子部，用以在前述像素部的周边部安装其它半导体电路或其它配线衬底；而前述端子部具有由下层侧向上层侧依序堆叠下列构件的堆叠结构：端子用连接配线，具有含钛的最上层；端子用中间膜，是由可进行湿式蚀刻的导电材料所构成；以及端子用透明导电膜。
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