[发明专利]光学式测定装置有效

专利信息
申请号: 200810088658.7 申请日: 2008-04-10
公开(公告)号: CN101285675A 公开(公告)日: 2008-10-15
发明(设计)人: 松宫贞行;冈部宪嗣;下川清治 申请(专利权)人: 三丰株式会社
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种光学式测定装置(1),具备:具有基准线的屏幕(11)、能移动的载物台(12)、检测载物台(12)的移动量的检测机构(121)、把放置在载物台(12)上的测定对象物的光学图像在屏幕(11)上成像的第一成像机构(13)和第二成像机构(14)、记录光学图像的记录机构(171),第一成像机构(13)具备:对光学图像进行摄像的摄像机构、把摄像机构摄像的光学图像作为数字形式的图像数据进行输出的输出机构、根据输出机构输出的图像数据把光学图像向屏幕(11)投影的投影机构,记录机构(171)记录输出机构输出的图像数据。
搜索关键词: 光学 测定 装置
【主权项】:
1、一种光学式测定装置,其特征在于,具备:屏幕、能移动的载物台、使光向所述载物台上放置的测定对象物照射的照明机构、检测所述载物台移动量的检测机构、把放置在所述载物台上的测定对象物的光学图像在所述屏幕上成像的第一成像机构和第二成像机构、利用所述第一成像机构和所述第二成像机构的任一个把所述光学图像在所述屏幕上成像进行切换的切换机构、记录所述光学图像的记录机构,所述第一成像机构具备:对所述光学图像进行摄像的摄像机构、把所述摄像机构摄像的所述光学图像作为数字形式的图像数据输出的输出机构、根据所述输出机构输出的所述图像数据把所述光学图像向所述屏幕进行投影的投影机构,所述第二成像机构具备:把被所述照明机构照射并被所述测定对象物反射或透射所述测定对象物的光向所述屏幕投影的投影透镜,所述记录机构记录所述第一成像机构的所述输出机构输出的所述图像数据。
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