[发明专利]氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材及其制造方法无效
| 申请号： | 200810088879.4 | 申请日： | 2008-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101333644A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 李伦圭;李真昊 | 申请（专利权）人： | 三星康宁精密琉璃株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐江华;王珍仙 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材及其制造方法。本发明提供具有InxGayAl1－yO3(ZnO)T(x+y＝1、x∶y＝1∶0.01～100、T＝0.1～5)组成的氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材。由此，可以形成体积电阻率显示20Ω·cm以下的值，可以进行DC溅射，In、Ga、Al和Zn的凝聚体形成为1μm以下，可以抑制由异常放电所引起的不良问题，而且成膜时的载流子浓度显示1016～1018/cm3的值，具有1～10cm2/V·s值的电子迁移率的氧化锌类的非晶质薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 非晶质 薄膜 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材，其特征在于，在氧化锌类非晶质薄膜用的溅射靶材中，所述溅射靶材具有InxGayAl1-yO3(ZnO)T的组成，其中x+y＝1、x∶y＝1∶0.01～100、T＝0.1～5。
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