[发明专利]一种非晶碳涂层及其制备方法和用途有效
| 申请号： | 200810089433.3 | 申请日： | 2008-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101444985A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 张伟;柳清亮;汪勇;张纾;徐滨士 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军装甲兵工程学院 |
| 主分类号： | B32B33/00 | 分类号： | B32B33/00;B32B9/00;C23C14/35;C23C14/02;C23C30/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 英;郭佩兰 |
| 地址： | 100072北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种非晶碳涂层。该涂层由打底层、中间过渡层和顶层构成。打底层为金属层，中间过渡层为金属和非晶碳混合层，顶层为掺杂少量金属的非晶碳涂层。本发明还提供涂层的制备方法：在真空环境中用高能氩离子对工件进行溅射清洗；沉积金属层进行打底，作为涂层打底层；通过控制溅射靶的功率和电流实现涂层中金属元素和碳元素梯度变化沉积过渡层和顶层。本发明制备的梯度变化非晶碳涂层具有硬度高、摩擦因数低、自润滑性能及抗磨损性能优良和涂层表面质量优异等优点。采用该工艺制备涂层具有时间短、效率高、成本低、适用于工业化大规模生产特点，具有较大的应用价值。本非晶碳涂层可用于柴油发动机挺柱、调整盘的修复、延寿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非晶碳 涂层 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
1. 一种非晶碳涂层，其设在零件的基体表面上，其特征是：该非晶碳涂层由打底层、中间过渡层和顶层三层构成；所述打底层为Ti、Cr金属层，中间过渡层为Ti、Cr和非晶碳的混合层，顶层为掺杂有少量Ti、Cr的非晶碳涂层；其中，过渡层中的Cr元素的含量从底层到表层方向呈逐渐递减的趋势，C元素呈逐渐增加的趋势，而Ti元素的含量基本保持稳定。
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