[发明专利]芯片标示装置

摘要

本发明公开一种芯片标示装置，用以标示一硅片的缺陷芯片，其包括有一移动平台，用以置放与移动硅片；以及一显微观测仪，用以观察芯片的缺陷以进行标示；其特征在于此芯片标示装置进一步包含一光学量测模块、显示模块与一暂存模块。暂存模块用以储放硅片的属性数据，显示模块用以显示包含有复数个芯片图标的电子硅片图。经由操作移动平台，使显微观测仪标定特定芯片，光学量测模块即提供其对应的坐标数据，并将其位置信号传输至显示模块，并提供操作者直接在电子硅片图上进行标示作业。

主权项

1、一种芯片标示装置，用以标示一硅片的芯片，其包括有一移动平台，用以置放该硅片，并提供该硅片的位置移动，该硅片具有复数个芯片；以及一显微观测仪，用以供操作者观察该等芯片以进行标示；其中：该芯片标示装置进一步包含一光学量测模块、一显示模块与一暂存模块，该暂存模块用以储放该硅片的属性数据；而该显示模块用以显示该硅片的电子硅片图，该电子硅片图包含有复数个芯片图示；其中，经由操作该移动平台，使该显微观测仪标定该硅片上的特定芯片，该光学量测模块根据该显微观测仪针对特定芯片的标定以提供其对应的坐标数据，并输出该特定芯片的位置信号至该显示模块，并提供操作者直接在该电子硅片图的特定芯片上进行标示作业。