[发明专利]显影喷嘴结构及喷涂显影液的方法有效
| 申请号： | 200810091401.7 | 申请日： | 2008-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN101251721A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 何松勋;张耿志 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/00;H01L21/84 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显影喷嘴结构及喷涂显影液的方法，该显影喷嘴结构包括一喷嘴腔体，具有一第一室、位于其下的一第二室、一注入管供应显影液注入所述第二室内，以及与所述第二室连通且位于所述第二室下方的一喷涂管；以及一闸门装置，设置于所述第一室与所述第二室之间，在所述闸门装置开启时，显影液中的气泡进入并集中于所述第一室，在所述闸门装置关闭时，所述第一室的气泡与第二室的显影液隔离，且第二室的显影液经由所述喷涂管向外喷涂。藉此，可大幅减少气泡随着显影液被带出至面板，故能提升工艺效率。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 喷嘴 结构 喷涂 显影液 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种显影喷嘴结构，其特征在于，所述显影喷嘴结构包括：一喷嘴腔体，具有一第一室、位于其下的一第二室、一注入管供应显影液注入所述第二室内，以及与所述第二室连通且位于所述第二室下方的一喷涂管；以及一闸门装置，设置于所述第一室与所述第二室之间，在所述闸门装置开启时，显影液中的气泡进入并集中于所述第一室，在所述闸门装置关闭时，所述第一室的气泡与第二室的显影液隔离，且第二室的显影液经由所述喷涂管向外喷涂。
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