[发明专利]曝光图案数据检查装置、方法以及程序

摘要

数据输入部(32)输入曝光图案数据和CAD数据。比较检查部(34)，通过比较曝光图案数据和CAD数据，进行曝光图案数据的检查。检查结果输出部(38)输出根据比较检查部(34)得出的检查结果。通过数据输入部(32)输入的CAD数据中，包含表示CAD数据所示出的图案各部分的属性的属性信息，比较检查部(34)，基于CAD数据所包含的属性信息，按照与该部分的属性对应的检查基准，检查曝光图案数据所示出的图案的各部分。由此，在通过直接描绘方式制造印刷电路板的情况下，可以在比以往更短的时间内正确检查直接描绘工序中所使用的曝光图案数据。

主权项

1.一种曝光图案数据检查装置，用于检查在曝光装置对印刷电路板的直接描绘工序中使用的曝光图案数据，其特征在于，具有：数据输入单元，用于输入上述曝光图案数据和成为该曝光图案数据的基础的设计数据；比较检查单元，用于比较上述曝光图案数据和上述设计数据，以此检查上述曝光图案数据；检查结果输出单元，用于输出上述比较检查单元的检查结果；其中，上述数据输入单元所输入的上述设计数据包含属性信息，该属性信息表示该设计数据所示出的图案的各部分属性，上述比较检查单元基于上述设计数据所包含的属性信息，按照与上述曝光图案数据所示出的图案的各部分属性对应的检查基准，能够检查该部分。