[发明专利]使用单一数据处理单元的多重工具有效
| 申请号： | 200810094750.4 | 申请日： | 2008-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN101324751A | 公开（公告）日： | 2008-12-17 |
| 发明（设计）人： | 林本坚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种使用单一数据处理单元的多重工具，用以经由影像束工艺而同时处理多片基材的方法与系统，此系统包括多重曝光模组，上述曝光模组可直接写入基材，配置上述曝光模组以自数据处理单元接收写入指令。本发明的系统与方法采用多重曝光模组，多重曝光模组自单一数据处理单元接收写入指令。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 单一 数据处理 单元 多重 工具 | ||
【主权项】：
1、一种用于直接写入图案的系统，其特征在于其包括：多个直接写入曝光单元；以及一单一数据处理单元，耦接在每一上述直接写入曝光单元，该单一数据处理单元配置为送出一写入指令至每一上述直接写入曝光单元。
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