[发明专利]涂布方法以及图案形成方法有效
| 申请号： | 200810094885.0 | 申请日： | 2008-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN101293239A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 田中志信 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;B05D3/00;G03F7/16;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹雯;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 向基板上被岸壁包围的区域内利用喷墨方式供给涂布液形成涂布膜，然后使该涂布膜软化、流动，从而将该涂布膜填充到上述岸壁包围的区域内。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 以及 图案 形成 | ||
【主权项】：
1.一种涂布方法，其特征在于，往基板上被岸壁包围的区域内通过喷墨方式供给涂布液形成涂布膜，然后使该涂布膜软化、流动，从而将该涂布膜填充到上述岸壁包围的区域内。
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