[发明专利]透光性压模、其制造方法和多层光记录介质的制造方法无效
申请号: | 200810095475.8 | 申请日: | 2008-04-23 |
公开(公告)号: | CN101295133A | 公开(公告)日: | 2008-10-29 |
发明(设计)人: | 住冈由香里 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G11B7/26 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 秦晨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种透光性压模、其制造方法和多层光记录介质的制造方法。本发明提供对于紫外线具有透光性且具有能重复使用的耐久性的透光性压模。具体地说,在透光性基底上依次形成透光性辅助层和无机抗蚀剂层,用光束选择性地照射到无机抗蚀剂层上,从而对从无机抗蚀剂层的表面到透光性辅助层表面的无机抗蚀剂改性。然后,被光束改性的部分或未被改性的部分被选择性地去除,直至透光性辅助层被暴露出,从而在无机抗蚀剂层中形成对应于信息图案的非均匀图案。 | ||
搜索关键词: | 透光 性压模 制造 方法 多层 记录 介质 | ||
【主权项】:
1.一种透光性压模,用于制造包括多个记录层和光致固化树脂的多层光记录介质,以便在所述光致固化树脂上形成信息图案,该透光性压模包括:基底,具有透光性;透光性辅助层,被堆叠于所述基底上;和无机抗蚀剂层,具有透光性,且被堆叠于所述辅助层上,其中在所述辅助层和所述光致固化树脂之间的剥离性高于在所述基底和所述光致固化树脂之间的剥离性,且其中所述无机抗蚀剂层在其中形成有对应于信息图案的非均匀图案,该透光性辅助层在无机抗蚀剂层的非均匀图案的凹部中被暴露。
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