[发明专利]基板薄化设备以及薄化基板的方法无效
| 申请号： | 200810096326.3 | 申请日： | 2008-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101265030A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 李承郁;李义玉 | 申请（专利权）人： | 宇进先行技术株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基板薄化设备和一种使用所述基板薄化设备的薄化玻璃基板的方法，其中所述基板薄化设备包括支撑待蚀刻的基板的支撑板、容纳支撑板的腔室和喷射用于蚀刻基板的蚀刻剂的喷嘴，其中支撑板倾斜设置，并且由支撑板支撑的基板也倾斜设置。 | ||
| 搜索关键词： | 基板薄化 设备 以及 薄化基板 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板薄化设备，包括：支撑待蚀刻的基板的支撑板；容纳所述支撑板的腔室；和喷射用于蚀刻所述基板的蚀刻剂的喷嘴，其中所述支撑板倾斜设置，并且由所述支撑板支撑的所述基板也倾斜设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宇进先行技术株式会社，未经宇进先行技术株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810096326.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种地下车库智能管理系统和方法
- 下一篇：发动机缸内催化转化技术
