[发明专利]液体材料供给装置、气泡排出装置及液体材料供给方法无效
| 申请号： | 200810096751.2 | 申请日： | 2008-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101301644A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 富泽巧 | 申请（专利权）人： | 恩益禧电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B9/04 | 分类号： | B05B9/04;B05C11/10;B05D7/24;H01L21/00;G03F7/16;B08B3/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;关兆辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种可防止气泡混入到排出的液体材料中的液体材料供给装置、气泡排出装置、及液体材料供给方法，液体材料供给装置(1)具有：填充有液体材料的液体材料供给用容器(11)；从液体材料供给用容器(11)提供液体材料、并连接有用于排出液体材料的排出管的泵(12)；设置在液体材料供给用容器(11)和泵(12)之间、填充有来自液体材料供给用容器(11)的液体材料的缓冲容器(13)；以及捕捉在缓冲容器(13)及泵(12)之间流动的液体材料中的气泡并将其排出的气泡排出部(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 材料 供给 装置 气泡 排出 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体材料供给装置，具有：填充有液体材料的液体材料供给用容器；从上述液体材料供给用容器提供上述液体材料、并连接有用于排出上述液体材料的排出管的泵；设置在上述液体材料供给用容器和上述泵之间、填充有来自上述液体材料供给用容器的液体材料的缓冲容器；以及捕捉在上述缓冲容器及上述泵之间流动的液体材料中的气泡并将其排出的气泡排出部，上述气泡排出部具有：配置在上述缓冲容器和上述泵之间、并填充有从上述缓冲容器排出的液体材料的填充用容器；检测气泡进入上述填充用容器内的传感器；将上述液体材料供给用容器中的液体材料向上述填充用容器送出的送出部；控制上述送出部的驱动的控制部；以及与上述填充用容器连接、用于排出进入到上述填充用容器中的气泡的配管，在上述气泡排出部中，通过上述传感器检测出气泡进入时，通过上述控制部驱动上述送出部，将液体材料送入到上述填充用容器，将进入到上述填充用容器中的气泡从上述配管排出。
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