[发明专利]一种实时监测反应室漏气的方法无效
| 申请号： | 200810097800.4 | 申请日： | 2008-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN101592543A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 黄海栋;段曦明 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 215025江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种实时监测反应室漏气的方法，该方法使用全波长光谱仪来实时监测反应室漏气的状况。使用全波长光谱仪后，如反应室有漏气，全波长光谱仪就能侦测到387nm波长的CN光谱(CN是漏入反应室的N2和反应室中C的反应生成物)。通过对反应室光波信号的侦测，就能实时监测到反应室是否有漏气。通过实时监测反应室是否漏气，从而可监测处理过程的稳定性，降低甚至避免产品异常风险，提高产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 监测 反应 漏气 方法 | ||
【主权项】：
1.一种监测反应室漏气的方法，其特征在于反应室通过缆线连接全波长光谱仪，利用上述全波长光谱仪侦测上述反应室的光波信号，根据光波信号确定反应室是否漏气。
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