[发明专利]探测装置有效

专利信息
申请号: 200810099044.9 申请日: 2008-05-15
公开(公告)号: CN101308193A 公开(公告)日: 2008-11-19
发明(设计)人: 带金正;秋山收司 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28;G01R1/02
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 刘春成
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种探测装置,在使用探测卡来调查晶片上的IC芯片的电特性的探测装置中,提高晶片的搬送效率,实现高生产率。在探测装置上设置有载置收容有多个基板的载体的装载口;具有在下面形成有探测器的探测卡的多个探测装置本体;和围绕铅垂轴旋转自由以及升降自由地构成的,用于在上述装载口与上述探测装置本体之间进行上述基板的转移的基板搬送机构,该基板搬送机构具备相互独立地进退自由的至少3个基板保持部件。而且通过基板搬送机构从载体接收至少2个基板,将这些至少2个基板依次搬入到多个探测装置本体内。
搜索关键词: 探测 装置
【主权项】:
1.一种探测装置,将排列有多个被检查芯片的基板载置到沿着水平方向以及铅垂方向能够移动的基板载置台上,使所述被检查芯片的电极垫与探测卡的探测器接触,进行被检查芯片的检查,其特征在于,包括:载置收容有多个基板的载体的装载口;具有在下面形成有探测器的探测卡的多个探测装置本体;围绕铅垂轴旋转自由以及升降自由地构成的,用于在所述装载口与所述探测装置本体之间进行所述基板的转移的基板搬送机构;和对所述探测装置本体以及所述基板搬送机构输出控制信号的控制部,其中,所述基板搬送机构具备相互独立地进退自由的至少3个基板保持部件,所述控制部输出控制信号,使得通过所述基板搬送机构从载体接收至少2个基板,利用空的基板保持部件将这些至少2个基板与多个探测装置本体内的检查完毕的基板依次交换。
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