[发明专利]激光加工装置无效
申请号: | 200810099219.6 | 申请日: | 2008-05-13 |
公开(公告)号: | CN101310911A | 公开(公告)日: | 2008-11-26 |
发明(设计)人: | 能丸圭司;星野仁志;山口浩司 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B23K26/067 | 分类号: | B23K26/067;B23K26/073;G02B27/09;G02B17/08;B28D5/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈坚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种激光加工装置,其能够同时沿两条间隔道实施激光加工。该激光加工装置具有:卡盘工作台;照射激光光束的激光光束照射构件;及对卡盘工作台和激光光束照射构件相对地进行加工进给的加工进给构件,其中激光光束照射构件具有:激光光束振荡部;将激光光束分割为第一和第二激光光束的分光器;使第一及第二激光光束会聚的聚光透镜;将第一及第二激光光束导向聚光透镜的棱镜;在将第一激光光束导向棱镜的第一光路上配置的第一角度可变镜;在将第二激光光束导向棱镜的第二光路上配置的第二角度可变镜;及在第一光路或第二光路上配置、使第一激光光束或第二激光光束的一方的偏光面的方向与另一方的偏光面的方向一致的λ/2波片。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工装置,其具有:卡盘工作台,其保持被加工物;激光光束照射构件,其向保持在上述卡盘工作台上的被加工物照射激光光束;以及对上述卡盘工作台和上述激光光束照射构件相对地进行加工进给的加工进给构件,其特征在于,上述激光光束照射构件具有:激光光束振荡构件,其振荡激光光束;分光器,其将由上述激光光束振荡构件振荡出的激光光束,分割为具有第一偏光面的第一激光光束和具有与该第一偏光面正交的第二偏光面的第二激光光束;聚光透镜,其使由上述分光器分割而成的上述第一激光光束及上述第二激光光束会聚;棱镜,其配置在上述分光器与上述聚光透镜之间,将由上述分光器分割而成的上述第一激光光束及上述第二激光光束导向上述聚光透镜;第一角度可变镜构件,其配置在将由上述分光器分割而成的上述第一激光光束导向上述棱镜的第一光路上,用于改变将上述第一激光光束导向上述棱镜的角度;第二角度可变镜构件,其配置在将由上述分光器分割而成的上述第二激光光束导向上述棱镜的第二光路上,用于改变将上述第二激光光束导向上述棱镜的角度;以及λ/2波片,其配置在上述第一光路或上述第二光路上,用于使上述第一激光光束的第一偏光面或上述第二激光光束的第二偏光面的一个偏光面的方向与另一偏光面的方向一致。
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